芯源微宗潤福： 一條好漢、一個方向、一面旗幟，18載半導體路

芯源微董事長宗潤福

距離宗潤福單槍匹馬闖入芯片裝備行業，已經過去18年。沈陽芯源微電子設備股份有限公司（簡稱“芯源微”）也從“一條好漢、一個方向、一面旗幟”不斷發展壯大，成長為半導體裝備行業的領頭羊。回顧過去18載春秋，不僅是芯源微成長的縮影，也是中國芯片行業發展的歷史軌跡。

烏飛兔走、時光踏馬。2002年底，中國科學院沈陽自動化研究所（簡稱“沈自所”）發起創立了中韓合資的沈陽芯源先進半導體技術有限公司，時任沈自所科技處處長的宗潤福放棄了穩定的職位，一個猛子扎到半導體裝備領域，開啟了與光刻工序涂膠顯影設備的半生緣。

創業初期，國內的半導體市場尚未開蒙，一窮二白的環境下，國產裝備應用幾乎為零，僅有的幾條生產線采購設備全部依賴進口。諸如光刻工序涂膠顯影這類高端設備市場，完全掌握在日本東京電子 （TEL）、日本迪恩士（DNS）、德國蘇斯微（SUSS）等巨頭的手里，芯源微需要的核心部件和精密加工件全部需要進口，研發難度可想而知。

當時，國產半導體設備無論是性能、可靠性還是價格都無法與外國進口設備匹敵。芯源微前行的每一步，都是刀尖舔血、極為艱難。初期，只能依靠原始股東投資、政府項目支持和銀行貸款維持生計。

2010年前后，國內LED市場進入快速發展階段，芯源微憑借多年積累，產品逐步走向成熟，產品性能反超進口設備，打破了國外壟斷，實現了進口替代，并開始與國際一流大公司同臺競爭。

時光流動中，中國半導體行業也已發生了天翻地覆的變化。數十年幾經波折，宗潤福感慨萬千，境遇滄海桑田、已如天淵之別。

截至目前，芯源微產品累計銷售800余臺套，作為主流機型成功打入包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌、東莞中圖等在內的多家國內知名一線大廠，成為當之無愧的國內半導體裝備產業細分市場的“隱形冠軍”。

2019年，多年蟄伏的芯源微終于登陸資本市場，數百人的研發團隊、多年的默默努力得以在更大的資本舞臺展現。不僅成為遼寧省科創板第一股、中國科學院（簡稱“中科院”）科創板第一股，更是中國半導體光刻設備上市第一股。

今年是芯源微的成年禮，再度回首往昔，過去種種少年心事，如今又是新一春。

以下為本刊對芯源微董事長宗潤福的采訪實錄：

生存到繁榮

少年心事當拿云

本刊記者：從2002年算起，芯源微已經走入第18年。18年來，有哪些戰略的變化，經歷了哪幾個階段？

宗潤福：2002年12月17日，在渾南新區的大力支持下，沈自所發起創立了中韓合資的芯源微。

回望十八年的風雨歷程，是芯源微人砥礪奮進的創業史。芯源微“初長成”的奮斗歷程大致可分為以下四個階段：

（1）生存階段（成立—2009年）：創業之初，舉步維艱。這個階段"戰略"似乎很遙遠，每天最需要考慮的是生存問題，生存是第一要務。

（2）起步階段（2009—2015年）：隨著LED及圓片級封裝市場形成及發展，芯源微步入起步階段，收入規模從1000萬提升至1億元。在國家科技重大專項的支持下，芯源微在LED及圓片級封裝領域實現重大突破，產品逐漸趨于成熟，因此在LED及圓片級封裝領域市場形成之后，芯源微能快速抓住機遇，搶得先機，迅速壯大發展，靠產品打市場，憑實力贏得客戶認可。

（3）提高階段（2015—2020年）：企業要想得到長遠發展必須要扎扎實實修煉內功，綜合提升內功才能提升性價比、競爭力。公司發展到一定階段，面臨著新的客戶需求，為國際一流大客戶提供服務，與國際一流的大公司充分競爭，也是一個自我完善和提高的過程，通過這一階段的技術儲備和質量提升，設備精細化程度、先進性及競爭力提升，用品質打造品牌，靠品質創造效益。企業進入了下一個階段，又迎來了一個高速發展期。

（4）高速發展階段（2020年）：2019年12月16日，芯源微在上交所科創板成功上市，搭上了快速發展的列車。上市后企業資金相對充裕，既要快速發展、多維發展，更要穩扎穩打、修煉內功。未來的發展階段要憑企業綜合競爭力在更廣闊的市場、更激烈的競爭中贏得更長遠的發展。

本刊記者：成立初期，IC裝備領域并不成熟，仍處在行業探索階段，當時市場環境是怎樣的？發展至今，行業環境有哪些變化？

宗潤福：芯源微成立于2002年，由沈自所發起創立。公司設立之初，無論是沈自所、中科院系統乃至國內的半導體裝備幾乎是零基礎。芯源微與韓國公司合資合作，通過技術轉讓實現高起點產業發展，切入半導體裝備領域并扎根其中。

首批員工赴韓國STL公司開展技術培訓，充分借鑒韓國公司在集成電路涂膠顯影設備設計制造方面的技術和產品的優勢，少走彎路，雖說雙方合作沒有預想那么順利，也沒有達到預期目標，但回望過去，公司設立初衷及取得的效果是值得肯定和慶幸的。

在引進技術基礎上，通過自主研發及消化吸收再創新，成功摸索出一條通往成功的有效路徑，并牢牢將發展的“引擎”掌握在自己手中，開發出了適應LED領域低成本高產能要求、適應圓片級封裝領域厚膠特征工藝要求的涂膠顯影設備，并抓住了LED及圓片級封裝領域發展機遇，成功打開國內市場，開辟了芯源微生存發展之路。

創業之初，舉步維艱，國內半導體市場尚未形成，國產裝備應用幾乎為零，供應鏈也要從零做起，為數不多的幾條生產線采購設備幾乎100%依賴進口。在國家科技部、北京市及上海市在刻蝕機和光刻機兩大核心裝備領域的戰略布局推動下，北方華創科技集團股份有限公司、上海微電子裝備（集團）股份有限公司同期成立。中電45所、48所也在封裝類設備及離子注入機領域著手布局，芯源微成為當期國內為數不多的半導體設備生產企業之一。

由于國產半導體設備剛剛起步，國產設備無論是工藝性能、可靠性、符合度都與客戶需求存在很大差距，價格甚至無法與二手進口設備競爭。國產設備與國外進口設備相比缺乏競爭力，市場占有率為零，無法得到客戶認可。國產半導體裝備企業舉步維艱，生存環境惡劣。由于無法形成良性循環和造血能力，企業只能依靠初始股東投資、政府項目支持及銀行貸款維持生存，企業吸引人才的能力、團隊穩定性、競爭力相對薄弱，公司可謂風雨飄搖，企業生存十分不易。芯源微能夠生存在一定程度上得益于中科院無形資產、資源及影響力。這些資源也對芯源微的發展及融資提供了巨大的幫助。

2010年前后，恰逢國內LED市場形成并快速發展，通過多年的技術積累以及承擔國家02重大專項，企業技術和產品得以長足進步，通過客戶端的應用提高，產品趨于成熟，市場競爭力逐步提升。芯源微LED領域涂膠顯影設備同韓國、中國臺灣等行業龍頭企業同類產品相比，從最初工藝性能可靠性差，靠低價銷售夾縫求生，到后來與國際龍頭企業平起平坐，再到最后工藝性能、產能占地等設備綜合性能反超進口設備，甚至售價也略高于同類進口設備，但設備總體性價比更高，為客戶創造更高的價值，從而快速搶占國內LED市場，打破國外壟斷，實現進口替代。芯源微以優質的服務、客制化的優勢，贏得了客戶認可，建立了客戶忠誠度和品牌認可度。

中美貿易爭端之后，華為供應鏈回歸，集成電路產業得到社會、政府、民間、資本等高度重視。扶持集成電路產業迅速發展，客戶端優先評估和使用國產設備，壓力與動力同在。總體來說，目前集成電路行業環境與企業創立之初相比發生了巨大的變化，可謂是冰火兩重天，集成電路產業迎來最好的發展時期。

成長和路徑

國產芯的成人禮

本刊記者:在成長的路程中，芯源微有哪些始終秉持的理念，這些理念導致了怎樣的成長路徑？

宗潤福：半導體行業對設備的可靠性要求極高。自成立以來，芯源微始終堅持以技術創新為核心發展目標，以質量保證為首要發展任務的經營理念，為客戶創造價值，靠品質創造品牌，質量永遠放在第一位。可靠性對于中科院體系企業是至關重要的。中科院很多研發成果尚處于實驗室階段，并未經歷中試和產業化，如何將成果變成產品、實現成果產業化及批量應用，可靠性是關鍵。

2010年前后，有國產設備廠家在行業發展研討會上抱怨“客戶購買設備時給出的是國產設備的價格，但要求的卻是國際一流公司進口設備的性能，那怎么能保證呢？低價格就不得不犧牲技術指標或設備的可靠性”。

芯源微堪稱國內半導體裝備產業細分市場的“隱形冠軍”。

以手表舉例論證設備可靠性的重要性。1萬塊錢的手表不算貴，貴的手表比比皆是，100塊錢的手表也不算便宜，更便宜的也有很多，但是花100塊錢買的手表也必須要走時精準，不能走走停停耽誤事兒。要想發展國產設備，就必須要成熟、可靠、用得住，要為客戶創造價值，功能不一定要多么復雜，指標不一定要多么先進，但一定要可靠。

如果芯源微產品質量不可靠，這500臺設備在客戶現場，假設每臺設備每年發生一次事故，也就意味著在客戶端，芯源微的設備每天都會出現問題，那么我們就疲于奔命，出廠設備越多，我們就會越累，客戶體驗就會越差，所以一定要保證可靠性，如果設備的Up time低于85%，那么設備就是不可用的。可靠性永遠放在第一位，這是芯源微始終秉承的理念。盡管一直在降成本，提高競爭力，但是芯源微產品的核心部件可靠性及工藝指標必須保證，不會因為成本下降而降低產品的質量及可靠性。產品的質量首先是通過研發、設計、驗證、制造出來的，不是通過質量檢驗檢測出來的，更不是通過售后服務把問題解決的，一定要遵循質量管理體系，實現過程控制把關，從源頭實現對產品質量的有效把控。憑借這種理念，芯源微的產品贏得了客戶的廣泛認可，設備銷量持續增長，始終保持健康發展的趨勢，芯源微的設備也為客戶創造了價值。

截至目前，芯源微設備累計銷售800余臺套，作為主流機型成功打入包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌、東莞中圖等在內的多家國內知名一線大廠，堪稱國內半導體裝備產業細分市場的“隱形冠軍”。

本刊記者：在具體產品和業務上，芯源微的主營業務有哪些？在業務的布局和拓展上有何變化？過去，有哪些關鍵性的事件和時間節點？

宗潤福：芯源微自成立以來一直從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，公司主營業務、主要經營模式等均未發生重大變化。芯源微主營產品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），產品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環節）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環節）。

公司主要產品演變和技術發展情況如下：

2002年，公司前身沈陽芯源先進半導體技術有限公司設立。

2004年，公司首臺小尺寸涂膠顯影設備出廠，并銷售至中國電子科技集團公司第十三研究所。

2005年，公司成功突破包括高粘厚膠膜涂覆技術、漸進式烘烤技術、膠絲控制技術等關鍵技術，自主研發生產的8英寸先進封裝領域用涂膠設備產品成功銷售至江陰長電先進封裝有限公司，開辟了8英寸先進封裝凸點工藝國產化新領域。

2007年，公司自主研發生產的12英寸先進封裝涂膠/顯影設備產品成功銷售至江陰長電先進封裝有限公司，并榮獲“2007年中國半導體協會創新產品和技術獎”，實現了國產IC裝備在晶圓尺寸和新工藝應用上的突破。

2008年，公司承擔的國家“十一五”國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的研發與產業化”項目獲得立項批復，項目執行期2009-2012年，項目執行期內公司成功突破凸點封裝工藝相關的超厚光刻膠膜的涂覆、顯影、單片濕法多工藝藥液同腔分層刻蝕等多項核心關鍵技術。

2011年，公司抓住國內LED產業快速發展的機遇，推出LED芯片制造領域用涂膠/顯影機等半導體專用設備，憑借產品在省膠、高產能等方面的良好性能批量銷售至三安光電、華燦光電等國內一線大廠。

2012年，公司承擔的國家“十二五”國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”項目獲得立項批復，項目執行期為2012-2015年，項目執行期內公司成功突破集成電路前道晶圓加工領域光刻工藝超薄膠膜均勻涂敷、精細化顯影、精密溫控熱處理等多項核心關鍵技術。

2013年，公司自主研發的先進封裝領域用噴霧式涂膠設備成功打入臺灣市場，批量銷售至全球最大的晶圓代工企業臺積電子公司臺灣精材，用于iPhone手機指紋識別器件的生產。

2016年，公司生產的先進封裝領域用涂膠/顯影設備批量銷售至臺積電，用于iPhone7手機A10處理器的生產；同年，公司主持制定的行業標準《噴霧式涂覆設備通用規范》（SJ/T11576-2016）正式頒布實施。

2018年，公司自主研發的首臺國產高產能前道涂膠設備“奉天一號”出廠并在上海華力微電子有限公司（簡稱“上海華力”）進行設備工藝驗證，正式進軍市場空間更加廣闊的集成電路制造前道晶圓加工環節用涂膠顯影設備領域。目前，上海華力機臺已通過工藝驗證并成功實現銷售。

2019年，公司自主研發的集成電路制造前道晶圓加工環節用單片式清洗設備出廠，并在中芯國際集成電路制造（上海）有限公司、上海華力等多個客戶處通過工藝驗證，截至目前已獲得國內多家晶圓廠商的重復訂單。

體系賦能

皇家園林內的野生動物

本刊記者：芯源微起源于中國科學院沈陽自動化研究所，在成長過程中，與中科院有哪些聯系？在投后賦能方面，中科院體系給芯源微提供了哪些幫助？

宗潤福：芯源微脫胎于中科院系統，中科院賦予芯源微最寶貴的財富是中科院踏實嚴謹的工作作風、國家隊的地位及賦予的信心，以及長期積累的資源及社會影響力，這些無形資產對芯源微的發展和融資提供了巨大的幫助。

芯源微的發展過程中，國家科技重大專項的支持至關重要，不僅僅是資金的支持，也包括進入國家隊的資源、影響和地位；不僅僅在于成果產業化帶來的收益，也包括承擔和完成國家科技重大專項過程中形成的一些國內外資源。

回顧過去18載春秋，不僅是芯源微成長的縮影，也是中國芯片行業發展的歷史軌跡。

公司發展較快階段，流動資金不足，幾乎是依靠短期貸款解決企業長期的資金周轉不足。如遇特殊情況貸款不能如期歸還，就需要申請短期貸款展期，但前提必須先將原貸款如數歸還，然后再重新放貸。沈自所下屬企業在充分評估企業周轉能力及經營風險的情況下可以提供短期拆借，解決過橋資金短缺問題。背靠沈自所這棵大樹，銀行貸款審批高看一眼，同時也可提供部分無抵押信用貸款支持，中科院系統的影響力等無形資產確實發揮了極大的作用。

當芯源微在LED和圓片級封裝領域站穩腳跟，形成了產品優勢和穩定的客戶群，具備一定的造血能力之后，擁有中科院背景的中國科技產業投資管理有限公司（簡稱“國科投資”）風險投資成功注入，促進了芯源微進一步發展和提高。

國科投資董事長孫華與芯源微相識多年，相互之間有充分的了解和信任，從而順利完成投資。投資賦能方面，國科投資成功入股不僅僅解決了芯源微資金需求，同時國科投資的管理、見識、資源等對芯源微的發展也起到了很好的推動作用，包括面臨誘惑時的規避作用。比如發展過程中面臨新三板掛牌的選擇，新三板是國家倡導的，各級政府大力推動的，芯源微也十分符合新三板的要求，但國科投資提出明確反對意見，現在回頭發現，當初如果登陸新三板，再要轉板退市，無形中增加了很多困難，國科投資當初的建議是十分具有先見之明的。

本刊記者：目前正在緊張籌備的“中科院科技創新投資產業聯盟（簡稱‘中科院科創投資聯盟’）”中，芯源微將扮演怎樣的角色？中科院科創投資聯盟對于芯源微會有怎樣的影響和作用？

宗潤福：中科院科創投資聯盟由研究所、轉制企業、所辦企業及投資機構等組成，就猶如皇家園林動物、圈養動物、放養動物與野生動物的區別。芯源微介于放養動物與野生動物之間。

在充分的市場競爭中，芯源微一方面受益于中科院系統人才及成果的支持，另一方面，也深刻感受到中科院本身的局限性和弱點，包括發展節奏、狼性及胸懷等。在胸懷方面，科學院很多專家辛辛苦苦十幾年甚至幾十年的研發成果，希望牢牢掌握在自己手中，自行轉化，不利用社會資源，僅憑借一己之力很難將產業做大，致使很多成果得不到充分社會化；另外，部分成果并未經歷中試階段，確實并未完全成熟。

身在中科院系統的象牙塔中，可能很難意識到自身的一些局限性，芯源微雖然脫胎于中科院系統，但在充分經歷市場競爭的洗禮與磨煉之后，芯源微整體的節奏和狼性也有了很大的提升，生命力更加頑強，相信芯源微的加入勢必會對中科院科創投資聯盟體系起到一些沖擊和補充的作用。

回望過去的18年，芯源微的發展一方面立足于自主研發，另一方面也充分借鑒國際先進技術，聘請來自日本、韓國、美國的技術顧問及全職專家，借助外腦，少走彎路，快出成果。但是芯源微終究是一個小企業，視野、平臺、資源等都具有很大的局限性。雖然芯源微經歷數年的研發及技術積累，產品的總體技術水平有了很大的提升，但與國際前沿技術仍有很大差距，在半導體設備國產化的過程中勢必會遇到技術上的挑戰及國際大公司的打壓。芯源微想要持續發展，就必須持續投入研發，但是芯源微的資源、資本是有限的，聯盟的成立對于芯源微的綜合技術能力的提高、資源的擴充、產學研用深度合作以及創新鏈、產業鏈、資本鏈融合方面，一定會發揮重要的促進作用。同時中科院具有多學科的專業優勢，芯源微的產品是光機電、流體力學、材料學、化學等多學科綜合應用的高精尖一體化設備，希望能充分借助聯盟成員在各個領域的專業優勢，對芯源微產品性能提升、核心部件研發、前沿工藝攻關等方面起到積極的促進和提升作用。

芯源微衷心希望中科院科創投資聯盟能在加強產業上下游合作等方面發揮實質性作用，希望聯盟間企業能緊密合作，相互促進，使聯盟具有強大的生命力及內生動力。