近日，半導體光學量測設備研發商匠嶺科技完成數億元B輪及B+輪融資，本輪融資由石溪資本（B輪領投方）、啟明創投（B+輪領投方）聯合合肥產投國正、臨港數科基金、元禾璞華、混沌投資等共同完成，老股東馮源資本也多次追加投資。

據了解，本輪融資將主要用于新產品研發和規模化產能布局，進一步推動半導體量檢測設備的自主創新與國產化替代。

董事長蔣儉威表示，國內半導體量測設備年采購額超300億元，但自主化率不足5%，匠嶺的目標是通過技術突破，助力產業鏈實現“從0到100”的跨越。

匠嶺科技（上海）有限公司成立于2019年3月，核心技術團隊由全球半導體頭部企業資深專家組成，平均行業經驗超過15年，研發人員占比超50%，碩博人才比例達40%。

據介紹，匠嶺科技聚焦前道工藝控制中的**關鍵薄膜量測（Critical Thin Film Thickness）與光學關鍵尺寸量測（Optical Critical Dimension, OCD）**兩大核心技術領域，通過自主研發實現了多項突破：

TFT系列薄膜量測設備：采用高精度光學系統與光譜算法，攻克了金屬互連層（超薄膜疊層）與柵極氧化層（超薄單層膜）的國際性量測難題，支撐了本土晶圓廠稀缺工藝的穩定量產。

OCD量測設備：突破光學線寬測量技術壁壘，適配先進制程的工藝迭代需求，成為國內首家實現該領域國產化的企業。

目前，匠嶺科技已形成四大產品系列、20余款設備的完整矩陣，覆蓋晶圓制造、先進封裝、化合物半導體等領域，并成功打入歐洲、東南亞及中國臺灣市場。

值得一提的是，2024年12月18日，匠嶺科技全球總部在上海臨港新片區正式啟用。這座集研發辦公、千級潔凈室、多功能展廳于一體的現代化綜合體，不僅為公司提供了技術創新的核心基地，也為客戶搭建了樣品測試中心，全面展示最新科研成果。

與此同時，匠嶺科技與浙江億方杭創達成戰略合作，成立“雙翼”聯合實驗室，推動半導體量測設備與高端算力的深度融合，以提升檢測效率與精度，賦能產業智能化升級。