Monolith礪思資本參與投資，勵(lì)兆科技完成數(shù)千萬(wàn)Pre-A輪融資

近日，半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商上海勵(lì)兆科技宣布完成數(shù)千萬(wàn)元人民幣Pre-A輪融資，并邀請(qǐng)到前愛(ài)思強(qiáng)中國(guó)區(qū)總經(jīng)理宋偉加入創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)擔(dān)任副總裁。Monolith礪思資本、中芯聚源、臨港科創(chuàng)投參與本輪投資。

勵(lì)兆科技成立于2022年8月，位于上海市閔行區(qū)，是一家專(zhuān)注于半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域的射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商。

勵(lì)兆科技的創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)來(lái)自海內(nèi)外知名高校和研究機(jī)構(gòu)，擁有多年先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)，超過(guò)十年的射頻電源系統(tǒng)研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn)，在基礎(chǔ)研究，產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，工藝應(yīng)用和市場(chǎng)拓展等多個(gè)方面有著深厚的積累。公司首席科學(xué)家是上海交大副教授/博導(dǎo)，曾在美國(guó)頂級(jí)學(xué)府從事高頻電力電子的研究。

公司副總裁宋偉是前愛(ài)思強(qiáng)中國(guó)區(qū)總經(jīng)理，畢業(yè)于北航。在加入勵(lì)兆科技之前，曾先后在美國(guó)維利安(Varian)、美國(guó)應(yīng)用材料(AMAT)、美國(guó)萬(wàn)機(jī)(MKS)、美國(guó)柯狄(Kateeva)和德國(guó)愛(ài)思強(qiáng)(AIXTRON)等多家歐美知名公司擔(dān)任中國(guó)區(qū)總經(jīng)理或銷(xiāo)售總監(jiān)等高管職位。

勵(lì)兆科技創(chuàng)始人趙馗表示，勵(lì)兆科技團(tuán)隊(duì)在射頻、電力電子、控制和算法技術(shù)上都具有較深積累和完備的布局。高頻電力電子是射頻技術(shù)的一種，其人才在全球都非常稀缺，半導(dǎo)體射頻電源要求兆赫茲級(jí)別的電力電子技術(shù)。公司核心成員從2012年便開(kāi)始深耕這個(gè)領(lǐng)域的研究，是國(guó)際上為數(shù)不多的華人專(zhuān)家之一。

同時(shí)，產(chǎn)品的算法需要和半導(dǎo)體工藝相結(jié)合，需要熟悉等離子體加工工藝，且要有扎實(shí)的數(shù)理背景，勵(lì)兆科技能很好地結(jié)合客戶(hù)的實(shí)際工藝需求來(lái)研究和優(yōu)化算法。

史密斯圓圖是反射系數(shù)的極座標(biāo)圖，它是一種求解傳輸線問(wèn)題的輔助工具，于1939 年由 P.Smith 在貝爾實(shí)驗(yàn)室工作時(shí)開(kāi)發(fā)，正確的使用它，可以在不作任何計(jì)算的前提下得到一個(gè)表面上看非常復(fù)雜的系統(tǒng)的匹配阻抗，

公司副總裁宋偉表示：“在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全要求和實(shí)際市場(chǎng)需求的背景下，射頻等離子領(lǐng)域需要一只高質(zhì)量高效率的科學(xué)家背景團(tuán)隊(duì)來(lái)盡快突破國(guó)內(nèi)技術(shù)的天花板，挑戰(zhàn)并最終超越國(guó)際市場(chǎng)上的產(chǎn)業(yè)龍頭。”因此，在產(chǎn)品初步開(kāi)發(fā)成功后，他便加入了勵(lì)兆科技，期望以豐富的市場(chǎng)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)推動(dòng)勵(lì)兆的快速發(fā)展。

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)大概未來(lái)大約有超過(guò)50億人民幣的市場(chǎng)規(guī)模。但國(guó)內(nèi)公司在半導(dǎo)體射頻領(lǐng)域技術(shù)積累較少，美國(guó)MKS、AE，日本Daihen、Kyosan和德國(guó)霍廷格等公司壟斷了95%以上的市場(chǎng)份額。

等離子體廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。在現(xiàn)實(shí)生活中，等離子技術(shù)已經(jīng)得到各種廣泛運(yùn)用，尤其在泛半導(dǎo)體制造工藝領(lǐng)域。

目前，除了濕法制程之外，等離子體的應(yīng)用領(lǐng)域幾乎覆蓋了從刻蝕(Etch)，原子層沉積(ALD/ALE)，物理化學(xué)沉積(PVD/CVD)，離子注入(Implant)，干法去膠(Strip)到光刻(Photo)，甚至化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的大部分細(xì)分半導(dǎo)體制程。等離子體發(fā)生和應(yīng)用系統(tǒng)也就成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的基礎(chǔ)子系統(tǒng)之一，其他的關(guān)鍵子系統(tǒng)還包括真空系統(tǒng)、流量系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、傳送系統(tǒng)等等。

勵(lì)兆科技的主要產(chǎn)品是等離子射頻電源及其配套系統(tǒng)和遠(yuǎn)程等離子源(RPS)系統(tǒng)，而這些產(chǎn)品的基本作用就是在相關(guān)半導(dǎo)體工藝設(shè)備中產(chǎn)生等離子體并達(dá)成相關(guān)各種工藝。

在每道工序中，等離子體的產(chǎn)生及工作原理都不盡相同。比如大部分先進(jìn)刻蝕系統(tǒng)，需要射頻電源具備脈沖調(diào)制功能，以便用于刻蝕的等離子體有發(fā)生和中和的過(guò)程，可以穩(wěn)定地朝著工藝指定的方向刻蝕；又比如在部分原子層沉積工藝中，為了配合工藝前體氣體脈沖快速釋放的節(jié)奏，射頻電源需要配備復(fù)雜的調(diào)頻功能來(lái)快速穩(wěn)定降低射頻反射系數(shù)。

針對(duì)這些技術(shù)要求，勵(lì)兆科技成立一年便開(kāi)發(fā)出了13.56MHz系列和400KHz系列射頻電源產(chǎn)品，部分關(guān)鍵性能參數(shù)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，比如功率可調(diào)精度在0.1瓦，脈沖頻率從2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合獨(dú)有MOFT調(diào)頻功能 (模型導(dǎo)向的自動(dòng)調(diào)頻技術(shù))，能實(shí)現(xiàn)亞毫秒量級(jí)的高速阻抗匹配，可以有效地滿(mǎn)足多種工藝的需求，在國(guó)內(nèi)率先為先進(jìn)蝕刻和原子層沉積等工藝提供了可選方案。

同時(shí)在遠(yuǎn)程等離子源(RPS)領(lǐng)域，公司正在開(kāi)發(fā)一款可用于12寸晶圓去膠/氧化/清潔等工藝領(lǐng)域的產(chǎn)品，預(yù)計(jì)在年底可為關(guān)鍵客戶(hù)送樣測(cè)試。

勵(lì)兆團(tuán)隊(duì)表示，在目前復(fù)雜國(guó)際形勢(shì)下，從根本上解決國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的整體供應(yīng)鏈安全問(wèn)題刻不容緩。勵(lì)兆科技的愿景是依托自身扎實(shí)的產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景，創(chuàng)造一家世界級(jí)的中國(guó)射頻等離子解決方案企業(yè)。

Monolith礪思資本表示，射頻電源是產(chǎn)生等離子體的核心器件，高性能的大功率射頻電源是國(guó)產(chǎn)化先進(jìn)制程的必要設(shè)備。目前，射頻電源幾乎完全依賴(lài)進(jìn)口，亟需國(guó)產(chǎn)化。勵(lì)兆科技是國(guó)內(nèi)少有的國(guó)際領(lǐng)先的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，同時(shí)又有深厚的上下游產(chǎn)業(yè)積累，對(duì)于攻克其中的技術(shù)問(wèn)題，順利商業(yè)化大有幫助。礪思看好射頻電源方向的國(guó)產(chǎn)化前景，相信勵(lì)兆能成為未來(lái)行業(yè)標(biāo)桿。