近日，半導體設備關鍵零部件射頻和等離子系統供應商上海勵兆科技宣布完成數千萬元人民幣Pre-A輪融資，并邀請到前愛思強中國區總經理宋偉加入創業團隊擔任副總裁。Monolith礪思資本、中芯聚源、臨港科創投參與本輪投資。

勵兆科技成立于2022年8月，位于上海市閔行區，是一家專注于半導體工藝設備領域的射頻和等離子系統供應商。

勵兆科技的創始團隊來自海內外知名高校和研究機構，擁有多年先進半導體設備開發經驗，超過十年的射頻電源系統研發和制造經驗，在基礎研究，產品開發，工藝應用和市場拓展等多個方面有著深厚的積累。公司首席科學家是上海交大副教授/博導，曾在美國頂級學府從事高頻電力電子的研究。

公司副總裁宋偉是前愛思強中國區總經理，畢業于北航。在加入勵兆科技之前，曾先后在美國維利安(Varian)、美國應用材料(AMAT)、美國萬機(MKS)、美國柯狄(Kateeva)和德國愛思強(AIXTRON)等多家歐美知名公司擔任中國區總經理或銷售總監等高管職位。

勵兆科技創始人趙馗表示，勵兆科技團隊在射頻、電力電子、控制和算法技術上都具有較深積累和完備的布局。高頻電力電子是射頻技術的一種，其人才在全球都非常稀缺，半導體射頻電源要求兆赫茲級別的電力電子技術。公司核心成員從2012年便開始深耕這個領域的研究，是國際上為數不多的華人專家之一。

同時，產品的算法需要和半導體工藝相結合，需要熟悉等離子體加工工藝，且要有扎實的數理背景，勵兆科技能很好地結合客戶的實際工藝需求來研究和優化算法。

史密斯圓圖是反射系數的極座標圖，它是一種求解傳輸線問題的輔助工具，于1939 年由 P.Smith 在貝爾實驗室工作時開發，正確的使用它，可以在不作任何計算的前提下得到一個表面上看非常復雜的系統的匹配阻抗，

公司副總裁宋偉表示：“在半導體產業安全要求和實際市場需求的背景下，射頻等離子領域需要一只高質量高效率的科學家背景團隊來盡快突破國內技術的天花板，挑戰并最終超越國際市場上的產業龍頭。”因此，在產品初步開發成功后，他便加入了勵兆科技，期望以豐富的市場應用經驗推動勵兆的快速發展。

國內半導體射頻電源市場大概未來大約有超過50億人民幣的市場規模。但國內公司在半導體射頻領域技術積累較少，美國MKS、AE，日本Daihen、Kyosan和德國霍廷格等公司壟斷了95%以上的市場份額。

等離子體廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。在現實生活中，等離子技術已經得到各種廣泛運用，尤其在泛半導體制造工藝領域。

目前，除了濕法制程之外，等離子體的應用領域幾乎覆蓋了從刻蝕(Etch)，原子層沉積(ALD/ALE)，物理化學沉積(PVD/CVD)，離子注入(Implant)，干法去膠(Strip)到光刻(Photo)，甚至化學機械研磨(CMP)的大部分細分半導體制程。等離子體發生和應用系統也就成為半導體設備行業的基礎子系統之一，其他的關鍵子系統還包括真空系統、流量系統、光學系統、傳送系統等等。

勵兆科技的主要產品是等離子射頻電源及其配套系統和遠程等離子源(RPS)系統，而這些產品的基本作用就是在相關半導體工藝設備中產生等離子體并達成相關各種工藝。

在每道工序中，等離子體的產生及工作原理都不盡相同。比如大部分先進刻蝕系統，需要射頻電源具備脈沖調制功能，以便用于刻蝕的等離子體有發生和中和的過程，可以穩定地朝著工藝指定的方向刻蝕；又比如在部分原子層沉積工藝中，為了配合工藝前體氣體脈沖快速釋放的節奏，射頻電源需要配備復雜的調頻功能來快速穩定降低射頻反射系數。

針對這些技術要求，勵兆科技成立一年便開發出了13.56MHz系列和400KHz系列射頻電源產品，部分關鍵性能參數已達到國際先進水平，比如功率可調精度在0.1瓦，脈沖頻率從2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合獨有MOFT調頻功能 (模型導向的自動調頻技術)，能實現亞毫秒量級的高速阻抗匹配，可以有效地滿足多種工藝的需求，在國內率先為先進蝕刻和原子層沉積等工藝提供了可選方案。

同時在遠程等離子源(RPS)領域，公司正在開發一款可用于12寸晶圓去膠/氧化/清潔等工藝領域的產品，預計在年底可為關鍵客戶送樣測試。

勵兆團隊表示，在目前復雜國際形勢下，從根本上解決國產半導體設備的整體供應鏈安全問題刻不容緩。勵兆科技的愿景是依托自身扎實的產業技術背景，創造一家世界級的中國射頻等離子解決方案企業。

Monolith礪思資本表示，射頻電源是產生等離子體的核心器件，高性能的大功率射頻電源是國產化先進制程的必要設備。目前，射頻電源幾乎完全依賴進口，亟需國產化。勵兆科技是國內少有的國際領先的研發團隊，同時又有深厚的上下游產業積累，對于攻克其中的技術問題，順利商業化大有幫助。礪思看好射頻電源方向的國產化前景，相信勵兆能成為未來行業標桿。