“中芯國際面臨的困難比想象的要大得多?！币晃毁Y深半導體人士說，“現在的情況是，美國設備的出口被卡得很死，國產設備頂上來還要時間。這給中芯國際帶來了不確定性?！?

中芯國際是國內最大的芯片制造廠。據了解，一條芯片生產線上有數十種機臺、幾百臺設備。在中芯國際，海外設備占到90%左右。其中，美國半導體設備占到60%左右，其余為日韓等國的設備，國產設備占比僅為10%左右。

去年12月18日，中芯國際被列入美國實體清單后，美國半導體設備立刻阻斷了與中芯國際的合作。根據國際半導體協會的信息，每年中芯國際在美購買的設備和材料金額高達50億美元。今年3月，雖然消息稱，中芯國際可以再次獲得部分美國設備供應的許可，許可內容為成熟工藝的半導體設備，但美國并未明確“何為成熟工藝”。

目前，美國設備的供應沒有恢復正常。比如，美國第一大半導體設備企業應用材料公司雖然在申請許可證，“但其設備，甚至連一個零部件都不能從美國發貨?！?

更為緊迫的是，國產設備暫時頂不上。這其中一個主要原因是，由于芯片生產和半導體設備的強綁定，讓先入為主的美國設備形成了事實性壟斷。國產設備不得不面臨單點突破、成不了體系的困境。

“我們很多人總存在幻想。但根據我的了解，美國對中芯國際的設備進口只會越卡越死?！痹撝槿耸糠Q。他建議，不要再抱有幻想，還是從根本上努力拉升國產設備的水平。

美國“解禁”，但設備和材料仍遙遙無期

“美國半導體設備企業出口給中芯國際的每一臺產品都要拿到許可證，每一臺。”半導體產業鏈人士張嶺，在談及中芯國際設備進口時感嘆到。

3月初產業鏈上傳來的消息稱，中芯國際將再次獲得部分美國設備供應的許可。然而，不止一位半導體業內人士對AI財經社表示，美國設備的交付仍有著不確定性。“目前所有設備，包括一個零配件都要填寫出口許可證，而許可證的拒絕或通過，不解釋理由?！鄙鲜鋈耸窟M一步表示，拿到許可證成為一件不確定的事。

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“我聽說一種用于鍺硅外延生長的設備就沒有賣給中芯國際?！痹撊耸窟€透露一個細節。

根據美國半導體設備企業科林研發、應用材料公司披露的信息，雖然這些供應商在中芯國際被列入黑名單后，就開始尋求獲得許可證，但大部分的申請沒有得到處理。今年2月中旬，應用材料公司在業績電話會上表示，他們做出的財報預測中沒有假設中芯國際的許可證會獲批。

漫長的審批流程也會損耗幾個月的時間?！叭绻麄兺仙夏惆肽辏阍O備拿到手里時也已經很晚了，將錯過一些重要訂單，錯過一些行業周期?！卑雽w設備人士王誠對AI財經社說。

不僅如此，美國設備廠商比如應用材料公司外派工程師也一概不能回答中芯國際的問題?！斑@不是正常的貿易行為，相當于阻斷了中芯國際與海外的技術交流?！?

而不確定的因素還潛伏著。3月19日，兩名美國議員敦促拜登政府進一步收緊對中芯國際的出口限制。此前，中芯國際剛剛與全球光刻機老大、荷蘭的ASML簽訂了12億美元的訂單，但兩位議員的聯名信里明確提出，要求拜登政府勸說荷蘭，阻止ASML將光刻機賣給中芯國際。AI財經社獲悉，荷蘭企業ASML的光刻機中用到了美國原創技術。

“12億美元光刻機訂單剛簽訂，媒體就廣為報道，但你們不知道的是，這個訂單發貨還早，這個過程中還存在不確定性。”王誠稱。

還要知道的是，ASML賣給中芯國際的DUV光刻機本身就不是最先進的設備，它與最先進的EUV光刻機在光源、光路系統和鏡頭方面，都存在著不小的差異。這些差異導致，同樣制造7nm的芯片，DUV需要經過多次曝光，良品率也不好控制，成本高企。用它做高端技術，并不現實。

中芯國際在披露的2020年年報中也坦言，公司面臨美國“實體清單”管制不確定因素的影響，設備采購交期較以往有所延長，亦有可能產能建設進度不如預期?！肮究赡苊媾R設備、原材料、零備件等生產資料短缺和客戶流失等風險，進而導致公司生產受限、訂單減少、成本增加，對公司的業務和經營產生不利影響。”

國產設備要時間，二手設備依然被卡

國產設備馬上頂上來還有難度。

“我們現在歡迎國產設備，但現實是現在國產光刻機還沒有一臺在生產線上是量產的?！币晃恍袠I資深人士對AI財經社說。為什么國產設備不能在中芯國際的生產線上大量得到應用？這就不得不提到，芯片制造廠和設備廠之間的合作模式，讓先入為主的美國半導體設備企業形成了一定的壟斷。

在芯片制造上，素來有“一代技術，一代設備，一代產品”的說法，這話點出了一個核心：設備是不能隨便更換的。

王誠對AI財經社解釋說，無論是臺積電，還是中芯國際，從90nm工藝向65nm、28nm、14nm、7nm、5nm不斷挺進的過程中，每一代技術，都需要在事先選定好的半導體設備上開發工藝，這其實就是定制。半導體設備不是標準品，一旦你選定了A的設備，如果要更換成B的，就要在后者上重新研發技術。

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“這就意味著要付出新的研發成本和時間成本。所以，理論上沒有芯片制造廠會更換設備。”王誠補充說。

那么，中芯國際為什么一開始不在國產設備上研發工藝？張嶺透露芯片制造廠和國產設備之間的矛盾：由于歷史原因，國產半導體設備與前沿技術存在一個落差。此前，中芯國際要追趕前沿技術，就要選擇與海外設備企業合作。

此外，對芯片制造廠而言，買設備需要看得更加長遠，因為這同時也為企業之后的生存率買單——小的公司一旦破產、設備不能支持后續研發、維護服務，會給產線造成很大風險。因此，國內設備面臨著“一步弱、步步弱”的局面。

“現在矛盾的地方在于，國產設備廠商頂不上去，但國產設備從業者也有怨言——如果中芯國際這樣的芯片制造廠不給國產設備廠試錯的機會，怎么可能做好？”資深半導體人士對AI財經社說道。

美國設備延緩、國產設備短時間內難以替代，海外二手設備能否給中芯國際帶來希望？這些設備中也有很多美國設備，只要不從美國出口，就不要許可證。

根據日經中文網的報道，二手半導體設備今年行情很熱。報道稱，日本國內有90%的二手半導體設備正流向中國。近一年，由于中國半導體廠商的大量購買，二手半導體設備的價格平均上漲了20%。三井住友融資租賃的負責人還強調，光刻機等核心設備漲至300% 以上。由于行情太熱，甚至有的賣方讓企業排隊下單，誰出價高就優先給誰供貨。

在中國買家的名單中，中芯國際也位列其中。對此，多位二手半導體設備供應商對AI財經社介紹，二手設備對于中芯國際新建的12英寸產線只是補充，主要落在40nm、50nm的產能上。“中芯國際二手設備占比不會超過20%，主要還是新設備?！?

但更現實的問題是，這20%的二手設備目前也因面臨合規性問題而有諸多不確定性。一位二手半導體設備供應商對AI財經社解釋，比如，12英寸的二手設備買來只是一個軀殼，設備上的軟件，在網絡上是找不到的，仍然要向設備原廠申請注冊并繳納軟件使用費。只有申請后，二手設備才會被納入到原廠的服務范圍內，比如故障后調動原廠工程師進行維修、軟件升級維護等。

這也意味著，盡管國內企業可以從日韓等地購買美國二手設備，但仍要向美國企業申請軟件，最終還要落到出口許可證上。

各地新廠能否運轉，核心依然是設備

設備不確定，但中芯國際不能再等。媒體報道稱，一個芯片制造廠從開始建廠到形成有效產能需要3年多，如果進度落后，沒有趕上這波建廠浪潮，很容易在3年后會落入產能過剩境地。

中芯國際正處在建廠浪潮之中。

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3月17日，中芯國際發布公告稱，將在深圳投資建廠。根據公告內容，深圳新項目的投資額約為23.5億美元，約合人民幣153億元。而此次建廠將重點生產28nm及以上工藝制程，預計將在2022年開始投產，規劃月產能為4萬片。

更早些時候，今年2月初上海市公布了2021年重大建設項目清單，清單顯示中芯國際12英寸芯片SN1項目處于在建狀態。據了解該項目總投資額90.59億美元，其中光是生產設備購置和安裝費就達到73.3億美元，將來主要聚焦在14nm及以下先進工藝，規劃落地后產能為3.5萬片晶圓。

不止南下，也在北上。去年年底，中芯國際還宣布將在北京亦莊成立中芯京城集成電路公司，投資規模為497億元，分兩期計劃施工，聚焦在生產28nm及以上集成電路項目，計劃于2024年完工。

截至目前，中芯國際在上海、北京、天津和深圳都有芯片制造廠。而其仍在圈地擴建，將數以千億的資金灑向新的土地。

馬不停蹄的建廠與當今全球缺芯大潮不無相關。從手機到汽車，再到視頻監控，無論是先進技術，還是成熟技術，幾乎都面臨著全面缺芯的情況。有知情人士對AI財經社表示，目前中芯國際的產能全滿。

但接下來工廠能不能運轉起來，核心依然是設備。全球化和國產化對于國內半導體產業發展而言是兩條腿走路。一位國內資深半導體人士認為，以往因為進口設備能夠持續供應，中國的芯片制造商習慣進口設備，維持此現狀。但隨著外部環境變得愈加不確定，產業上下感受到危機，同時這也正是半導體設備國產化的好時機。

一位半導體設備上市公司的董事長對AI財經社表示，如今中芯國際、長鑫這樣的芯片制造廠對國產設備的定位不僅僅是供應商，還是戰略合作者。

一位前中芯國際人士對AI財經社表示，中芯國際對于國產設備的態度蠻歡迎的，“能用就用”。他透露，在某些產線某工藝制程上，國產設備的占比甚至能達到20%到30%，“在北京的創新中心也做一些扶持國產設備的工作”。

他所提到的“北京的創新中心”實際上是北方集成電路創新中心。北方集成電路創新中心為中芯北方的全資子公司，成立于2017年9月，是產業鏈國產化一個重要地標。2019年年底，中芯國際和亦莊國投分別對該中心增資9900萬、5000萬元。中芯國際表示，增資事項將有助于合資公司與產業鏈企業從事相關業務，構建以北京為中心的集成電路產業生態圈，提升集團生產線效率，降低生產線的建造與運營成本。

目前國內能夠頂上去的是對精度要求不是特別高的環節，比如擴散爐、清洗機。在先進工藝上，上海中微的刻蝕機已經用于臺積電的5nm生產線，是國產設備中唯一在先進工藝上獲得突破的產品。

去年，在集微網一場線上溝通會上，國產半導體設備主要企業北方華創總裁兼首席執行官趙晉榮曾透露，北方華創在8英寸產線上有30多種設備在產線上，12英寸的65nm、55nm、40nm也有設備在產線上。他也表示，從工序上看，一條產線400-500道工序，現在國內廠商在某道工序上已經做到了30%-50%的占有率，但設備大類占比低，門檻需要一道道來跨。

上述上市公司董事長也表示，國產設備仍有很長的路要走，要逐步完成知識產權自主、驗證期、制造自主、供應鏈自主這幾個階段。

“過去，國產設備最難的是敲開門，讓客戶給你試的機會，現在這個大背景下，這反而不是最難的了，中芯國際有了強烈的需求。目前如果大家憑真正的專業能力，為用戶提供真正在性能上對標國際廠商的設備，就能抓住黃金機會長足發展?！彼J為，2021、2022年會看到本土設備市占率會有大幅的提升。

“不要再抱有幻想，還是努力拉升國產設備吧?！币晃毁Y深人士對AI財經社說。而因為之前落后太多，這一過程將充滿艱辛和挑戰。

（文中張嶺、王誠為化名）