中金佳泰基金、海通新能源領投，邑文科技獲超5億元D輪融資

無錫邑文微電子科技股份有限公司（簡稱：邑文科技）完成超5億元D輪融資，本輪由中金資本旗下中金佳泰基金、海通新能源領投，揚州正為、洪泰基金、西安常青、千曦資本、蜂云投資、超越摩爾、長江創新、楚商基金、凱恩睿昇、水木資本等聯合投資。

公司主營半導體前道工藝設備的研發和制造，主要生產刻蝕工藝設備和薄膜沉積工藝設備，應用于半導體（IC及OSD）前道工藝階段，特別是碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）、砷化鎵（GaAs）等化合物半導體和MEMS等特色工藝領域。

自成立以來，邑文科技從設備翻新業務起步，布局含金量高的特色工藝刻蝕設備領域和薄膜沉積設備領域，聚焦半導體設備的自主創新研發，致力于促進國內半導體設備產業的國產化，并在多年的發展中積累了豐富的工藝流程經驗，最終一步步成功轉型為設備自主研發企業。

目前，公司擁有全自主知識產權的刻蝕設備、CVD薄膜沉積設備、去膠設備、ALD設備，覆蓋刻蝕、去膠、ALD、CVD、固膠、退火等多個類別。

通過多年來堅持深耕半導體設備行業，邑文科技在刻蝕、薄膜沉積、去膠設備三大細分領域已形成了強大的競爭力，得到了比亞迪半導體、士蘭微、三安光電、中電科、國網研究院、中科院微電子所等多家下游龍頭企業及科研院所的認可。