“華為”打了套組合拳：左手鴻蒙，右手光刻機

近日華為先是發布了HarmonyOS 2操作系統，隨后又宣布將HarmonyOS的基礎能力全部捐獻給開放原子開源基金會，一時賺足了眼球。鴻蒙的面世，意味著華為應對安卓禁令“B計劃”已經生效，在操作系統方面，華為從此不再受制于人。

而與此同時發生的另一件事，雖然沒有像鴻蒙那樣引起巨大的關注，但重要性絲毫不弱于鴻蒙。工商信息顯示，華為的全資子公司哈勃科技，在2021年6月2日完成了對光刻機光源廠商科益虹源的注資，持有其4.76%的股份。華為在2019年成立投資平臺哈勃，專攻半導體產業鏈。對科益虹源的投資，意味著華為終于要向芯片制造王冠上的明珠——光刻機——發起進攻。

華為被“卡脖子”，在“軟”的方面是操作系統，鴻蒙已經解決了這個問題；在“硬”的方面是芯片制造，進軍光刻機將解決這個問題。重壓之下的華為，用兩年時間硬是無中生有的趟出了一條路。

將國產光刻機推向28nm

公開信息顯示，科益虹源在2016年由中科院微電子所和北京亦莊國投聯合發起成立，其它股東包括中科院旗下的國科控股等。這樣的背景，顯示出科益虹源不是一家普通的公司。在哈勃這輪融資之前，科益虹源沒有進行過增資。一位投資人向我們表示，科益虹源這家公司比較低調，據他所知不太接觸財務投資人。

科益虹源這家公司的名字極少出現在公眾視野，但從官方披露的直言片語的信息還是不難看出，這是一家在中國半導體產業鏈上極其重要的公司。

經過這幾年的科普，現在大家都知道了，芯片制造過程中最關鍵的設備是光刻機。芯片制造是將芯片設計在晶圓上實現的過程，其中“光刻”的環節，即利用光刻機發出的激光實現對電子線圖的“復印”，可以占到整個芯片制造耗時的40~50%。光刻機的先進程度直接決定了芯片的工藝水平。高端光刻機不能國產化，是中國半導體產業長期的痛。目前最先進的國產光刻機來自上海微電子，只能做到90nm制程，距離28nm以下的先進制程還很遠。

光刻機的國產化是復雜的系統工程，其中光源是核心組件之一，其波長范圍決定了光刻機的工藝能力，這正是此次拿到哈勃投資的科益虹源所攻堅的“城墻口”。

根據官方報道，科益虹源是國家02重大專項“準分子激光技術”成果的產業化載體，開展浸沒光刻光源的關鍵技術攻關以及產品開發，進入國際上最高端的DUV光刻光源產品系列。

科益虹源攻克的ArF浸沒式激光器技術，可以把國產光刻機一舉推向28nm以下的先進制程。這是中國半導體產業發展的歷史性節點。采用ArF光源的浸沒式DUV光刻機是目前全球使用最廣泛的光刻機，可以完成45nm-10nm制程的芯片制造，足以應付絕大部分使用場景，中國芯片制造受制于人的局面將得到根本性的改觀。

根據官方通稿，2018年科益虹源實現了自主設計開發的國內首臺高能準分子激光器出貨，打破了國外廠商的長期壟斷，是國內第一家、全球第三家實現193nm ArF準分子激光器量產的企業。2020年4月，科益虹源集成電路光刻光源制造及服務基地項目開工建設，投資達5億元。

2020年11月，上海浦東金融局發布新聞稿顯示，上海微電子預計將于2022年交付首臺28nm工藝國產沉浸式光刻機，國產光刻機將從此前的90nm制程一舉突破到28nm制程。這一消息振奮了整個中國半導體產業界。雖然官方并未確認，但業內一般認為其光源系統來自科益虹源。

哈勃在這個時間點上投資科益虹源，其意義是不言而喻的。

華為已掏出30億元，用投資再造產業鏈

華為在2019年設立子公司哈勃科技，專門用于半導體產業鏈的投資。兩年來哈勃的投資規模急劇膨脹，華為已經向哈勃追加了三輪投入。2019年哈勃只有7億元注冊資本，而在2021年5月31日的增資之后，已經增加至30億元的規模。

在2020年7月，因為一則“光刻機工藝工程師”的招聘公告，曾讓坊間熱議華為要做光刻機了。雖然事后證明這只是一場烏龍，但華為要重造產業鏈的決心是顯而易見的，這也是“華為要做XXX”一類傳言層出不窮的根本原因?？梢灶A見，華為對科益虹源的投資不會僅僅只是投資而已。

目前，哈勃科技已投資了多達38家公司，投資范圍涵蓋半導體設備、第三代半導體材料、芯片設計等半導體產業鏈的各個環節。從這些項目，能窺見華為在半導體領域的投資風格，用一句話概括就是“投資一個億，訂單十個億”。在投資的同時，華為的技術支持、海量訂單往往也隨后就到。通過哈勃的投資，華為相當于已經再造了一條圍繞自身的產業鏈。

哈勃第一個完成IPO的項目是模擬芯片廠商思瑞浦，2020年9月正式上市，目前市值超過400億元，在2019年7月，哈勃投資以7200萬元認購了思瑞浦增發的224萬股股份，投后估值僅9億元。思瑞浦之所以能夠在不到兩年時間增值40多倍，華為的扶持功不可沒。在投資的第一年，華為就給了1.7億元的訂單，讓思瑞浦的當年的營收同比暴增167%。

全球首家量產5G介質波導濾波器的生產商燦勤科技也是如此。2018年下半年，燦勤科技在國內率先實現5G介質波導濾波器的規模量產，這是5G基站的關鍵部件，屬于過去“卡脖子”的產品，因此引起了華為的注意。哈勃投資接洽要入股，華為的訂單也接踵而至。僅僅憑借5G介質波導濾波器這一款產品，燦勤科技就此實現了公司的脫胎換骨。在2020年，來自華為的收入占其總營收的90%以上。

對華為而言，這些投資在實現戰略協同的同時，財務回報也非?？捎^。前面提到的40多倍回報的思瑞浦只是一例，在科創板上，一只“華為軍團”正在慢慢浮現。6月4日，燦勤科技科創板IPO提交注冊。5月31日，碳化硅襯底廠商山東天岳科創板IPO申請獲受理。4月15日，儲存芯片廠商東芯半導體科創板IPO獲得通過。它們都是哈勃科技在過去兩年間投資的項目。哈勃真乃“硬科技第一VC”。