近日，半導(dǎo)體工藝核心裝備消耗性備件研發(fā)生產(chǎn)商微睿光電宣布完成數(shù)億元B輪融資，本輪由三行資本與石溪資本聯(lián)合領(lǐng)投，元禾辰坤、燕創(chuàng)資本等多家機(jī)構(gòu)參與投資。

三行資本投資總監(jiān)王文川表示：“在泛半導(dǎo)體制造本土化的國家意志和歷史浪潮下，國產(chǎn)核心部件制造商的崛起是大勢所趨。目前設(shè)備原廠以及傳統(tǒng)外資配套廠商仍然占據(jù)大部分的市場份額，特別是針對泛半導(dǎo)體先進(jìn)產(chǎn)品和半導(dǎo)體先進(jìn)制程。微睿光電由國內(nèi)資深泛半導(dǎo)體團(tuán)隊創(chuàng)建，實(shí)現(xiàn)了核心機(jī)臺部件維保和制造工藝的國產(chǎn)化，我們看好團(tuán)隊借中國泛半導(dǎo)體高速發(fā)展的東風(fēng)，在更多卡脖子產(chǎn)品和技術(shù)上取得突破！”

中國泛半導(dǎo)體產(chǎn)能仍處于擴(kuò)張周期，京東方、華星等客戶都有一座以上LCD工廠的新建或大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)計劃；OLED工廠產(chǎn)能快速釋放，普遍采用7-MASK工藝，對腔室部件的需求量進(jìn)一步提升；SEMI預(yù)計到2022年全球?qū)⑿陆?9座晶圓廠，超過一半將位于中國。

CVD、PVD、Dry機(jī)臺是泛半導(dǎo)體的主工藝設(shè)備，腔室內(nèi)部件需要周期性的維護(hù)再生和新品采購，包括上下部電極、Diffuser、Susceptor、Shadow Frame、Backing Plate等等，涉及工藝包括陽極氧化、陶瓷coating等等，對成膜均勻度、厚度一致性等有非常高的要求，長期以來受制于設(shè)備原廠和傳統(tǒng)外資配套廠商的制約。

合肥微睿光電科技有限公司成立于2016年，是在合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)投資創(chuàng)辦的高新技術(shù)企業(yè)。公司主要從事制造并再生LCD、半導(dǎo)體工藝核心裝備的消耗性備件及高性能基座，彌補(bǔ)并改變了國內(nèi)LCD維修、半導(dǎo)體工藝核心裝備的消耗性備件及高性能基座生產(chǎn)的空白，為中國平板顯示產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化持續(xù)貢獻(xiàn)力量。

公司創(chuàng)始人及其團(tuán)隊與國內(nèi)核心半導(dǎo)體顯示工廠、晶圓廠和核心組織合作密切，技術(shù)專家團(tuán)隊由多名十年以上海內(nèi)外行業(yè)內(nèi)資深人士組建，落地能力強(qiáng)，標(biāo)桿客戶及合作伙伴包括LG、華星光電、京東方、惠科、維信諾等，多款國內(nèi)首臺套產(chǎn)品已經(jīng)在客戶端完成了設(shè)計、組裝、調(diào)試、交付。目前公司授權(quán)發(fā)明專利超過10件，同時有10件以上的發(fā)明專利正在申請當(dāng)中。